中科院苏州纳米所纳米真空互联实验站二期建设项目通过验收

近日，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米真空互联实验站二期建设项目顺利通过总验收。

纳米真空互联实验站是中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（简称：中科院苏州纳米所）建设的，集材料生长、器件加工、测试分析为一体的材料领域重大综合科研装置。真空互联实验站面向国家战略需求和科学前沿重大问题，开创一条变革性的技术路线，将材料生长、器件工艺、测试分析通过超高真空管道有机互联在一起，突破常规超洁净环境下，独立分散设备难以突破的材料本征特性、原子级精准调控、表/界面调控和异质集成、器件原位制造等局限，为国家战略材料和前沿材料领域研究提供重要建制化、体系化综合科研装置的支撑。

中科院苏州纳米所纳米真空互联实验站由中国科学院、江苏省、苏州市以及苏州工业园区共同投资建设。自2014年4月开始，通过两期建设，目前近40台各种大型工艺设备通过203米长的超高真空管道互联，已建成材料制备与工艺、微观机理准原位分析、跨尺度性能测试、气氛可控和真空互联控制与对接系统等五大模块平台。近日，来自中国科学技术大学、中科院化学研究所、中科院苏州医工所等单位的专家组成验收专家组，对二期建设项目进行了现场鉴定，并一致同意通过验收。

自2019年试运行起，至2022年底，实验站累计已开展合作课题651个，服务用户数量220多家，逐步建立了以苏州工业园区为中心，立足江苏省，辐射长三角地区，延伸海内外的用户科研服务体系。

（来源：扬子晚报）

转自：“科研设施与仪器平台”微信公众号

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