东南大学集成电路学院黄晓东教授课题组在集成微系统技术领域取得进展

近日，东南大学集成电路学院、MEMS教育部重点实验室黄晓东教授课题组在国际著名期刊《Nature Communications》上发表题为“Integration of microbattery with thin-film electronics for constructing an integrated transparent microsystem based on InGaZnO”的论文，报道了集能量、信息、传感等多功能为一体的透明式集成微系统。该论文同时被选为Editors' Highlights。

作为后摩尔时代重要的发展方向之一，扩展摩尔（More than Moore）通过微电子与其他学科交叉融合，不仅实现了集成电路性能、功耗与成本之间的良好平衡，还能降低对先进工艺节点与设计技术的依赖，因此，对我国集成电路发展具有重要意义。

功能多样性（function diversity）是扩展摩尔的重要特征，本文报道了集能量（锂离子电池）、信息（晶体管）、传感（光探测器）等功能为一体的集成微系统，有效拓展微系统的功能并提升微系统的集成度与能效。该微系统基于铟镓锌氧化物（InGaZnO）作为各类型模块的共性功能材料，这极大简化微系统的制备流程与架构。此外，该微系统还具有较高的可见光透过率，因此，在下一代消费类电子、智能交通与国防安全等领域具有应用前景。

该论文第一作者是东南大学博士生贾斌，东南大学特聘教授黄晓东老师为论文的通讯作者。该研究得到了国家重点研发计划项目和国家自然科学基金面上项目的资助。

文章链接：https://www.nature.com/articles/s41467-023-41181-1

来源：集成电路学院

转自：“东大科研”微信公众号

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