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认证信息

期刊封面

Materials Science in Semiconductor Processing《半导体加工材料科学》

年16期 - 英国

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所属分区：3区

是否TOP：非TOP期刊

是否综述：非综述期刊

是否OA：OA混合

国际标准刊号：ISSN 1369-8001；EISSN 1873-4081

期刊语言：英语

出版区域：英国

定价：0

出版地址：ELSEVIER SCI LTD , THE BOULEVARD, LANGFORD LANE, KIDLINGTON, OXFORD, ENGLAND, OXON, OX5 1GB

期刊邮箱：

投稿网址：https://www.editorialmanager.com/mssp

期刊网址： https://www.sciencedirect.com/journal/materials-science-in-semiconductor-processing

出版商网址： https://www.sciencedirect.com

Materials Science in Semiconductor Processing《半导体加工材料科学》（官网投稿）

简介

期刊简称MAT SCI SEMICON PROC
参考译名《半导体加工材料科学》
核心类别高质量科技期刊（T2-2025）, 高质量科技期刊（T3-2025）, SCIE核心, EI 外国期刊, 目次收录（维普）, 知网外文库,外文期刊,
IF影响因子
自引率
主要研究方向工程技术-ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC工程：电子与电气；MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY材料科学：综合；PHYSICS, APPLIED物理：应用；PHYSICS, CONDENSED MATTER物理：凝聚态物理。收录范围包括：面向亚微米与纳米器件的先进光刻、刻蚀、掺杂、退火及薄膜工艺；材料与器件失效、可靠性、损伤演化及相关问题；先进化学与物理气相沉积技术；先进金属化与互连方案；化合物半导体材料及其加工工艺；新型介电材料与非氧化物材料及其应用；（宏）分子材料、杂化材料、异质结构材料、量子材料及其器件与加工技术；分子动力学、第一性原理方法、蒙特卡洛模拟、数据密集型及基于机器学习的研究方法等；用于分立与集成电路的新材料及工艺；先进电子封装材料与工艺；磁性材料与自旋电子学；晶体生长技术及机理；材料本征杂质与缺陷。展开更多

Materials Science in Semiconductor Processing《半导体加工材料科学》（一年16期）. Materials Science in Semiconductor Processing provides a unique forum for the&nb...[显示全部]

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