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期刊封面

年8期 - 英国

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是否OA：OA混合

国际标准刊号：ISSN 1063-7397；EISSN 1608-3415

期刊语言：英语

出版区域：英国

定价：0

出版地址：Pleiades Publishing, Ltd. Tropic Isle Building, P.O. Box 3331, Road Town, Tortola, British Virgin Islands

期刊邮箱：

投稿网址：https://publish.pleiadesonline.com/journal-detail/RM

期刊网址： https://link.springer.com/journal/11180

出版商网址： https://link.springer.com

Russian Microelectronics《俄罗斯微电子学》（官网投稿）

简介

期刊简称
参考译名《俄罗斯微电子学》
核心类别 EI 外国期刊, 目次收录（维普）, 知网外文库,外文期刊,
IF影响因子
自引率
主要研究方向专注于微电子与纳米电子领域的技术、物理及电路工程研究。特别关注亚微米及纳米尺度下的光刻技术（光学、X射线、电子束、离子束）、刻蚀、掺杂、沉积和平坦化等前沿趋势，同时涵盖束流与等离子体技术、分子束外延与干法刻蚀、表面及多层结构的研究与控制方法、工艺过程的数学建模与实时诊断，以及基于新物理原理（如量子尺寸效应与超导性）的半导体器件、异质结、纳米晶体管和量子比特（qubit）的半导体实现等一系列主题。展开更多

Russian Microelectronics《俄罗斯微电子学》（一年8期）. Russian Microelectronics is a peer-reviewed journal focusing on technological, physical, and circuit engineer...[显示全部]

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