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国际标准刊号：ISSN 0894-6507；EISSN 1558-2345

期刊语言：英语

定价：0

地址：IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC, 445 HOES LANE, PISCATAWAY, USA, NJ, 08855-4141

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投稿网址：https://mc.manuscriptcentral.com/tsm-ieee

期刊网址：https://eds.ieee.org/publications/transactions-on-semiconductor-manufacturing

出版商网址：http://www.ieee.org